In Elektronikfabriken sind die Anforderungen an die Zuverlässigkeit der Druckluftversorgung äußerst hoch, da sie unmittelbar die Produktionsausbeute und die Sicherheit der Anlagen beeinflussen. Dieser Beitrag untersucht das zuverlässige Systemdesign der Druckluftversorgung in Elektronikfabriken, die Qualitätskontrolle der Druckluft sowie…