In Trockenkammern oder Entfeuchtungssystemen sind Taupunkttemperatur und ppm entscheidende Kenngrößen zur Bestimmung des Wasserdampfgehalts der Luft. Dieser Beitrag erläutert detailliert die physikalische Bedeutung beider Größen, die Umrechnungsprinzipien sowie Referenzwerte unter Normaldruck und gibt Empfehlungen zur Gerätekalibrierung und Umgebungskontrolle,…
Feuchtigkeitskontrolle
Die Halbleiterindustrie stellt äußerst strenge Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit der Druckluft; ein hoher Feuchtigkeitsgehalt darf unter keinen Umständen auftreten. Wasser kann zu Korrosion der Wafer, Partikelkontamination sowie zu Geräteausfällen führen und die Produktionsausbeute erheblich beeinträchtigen. In der Regel…
Blogbeitrag
Taupunkt bei Normaldruck und Taupunkt unter Druck entsprechen dem Feuchtigkeitsgehalt in ppm.
In der Druckluftaufbereitung ist ein genaues Verständnis des Zusammenhangs zwischen Normaldruck-Taupunkt, Druck‑Taupunkt und dem Feuchtigkeitsgehalt in ppm von entscheidender Bedeutung. Dieser Beitrag erläutert ausführlich die Definitionen sowie die Umrechnungsprinzipien von Normaldruck‑ und Druck‑Taupunkt, untersucht die Korrelation zwischen Taupunkttemperatur…
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