Druckluft spielt in der Herstellung integrierter Schaltkreise eine entscheidende Rolle: Sie liefert nicht nur den stabilen pneumatischen Antrieb für automatisierte Anlagen, sondern wird auch vielfach zur Aufrechterhaltung sauberer Raum‑Umgebungen, zur Oberflächen‑Abblas‑ und Trocknung von Wafern sowie zum Schutz…
Integrierte Schaltung
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