Der Prozessgasdruck unterliegt keinem einheitlichen, festgelegten Standard, sondern wird je nach konkreter industrieller Anwendung und den jeweiligen prozesstechnischen Anforderungen ausgelegt. Von einem leichten Überdruck in der Halbleiterindustrie bis hin zu Hochdrücken von mehreren Dutzend Megapascal bei chemischen Syntheseprozessen…