Die Halbleiterindustrie stellt äußerst strenge Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit der Druckluft; ein hoher Feuchtigkeitsgehalt darf unter keinen Umständen auftreten. Wasser kann zu Korrosion der Wafer, Partikelkontamination sowie zu Geräteausfällen führen und die Produktionsausbeute erheblich beeinträchtigen. In der Regel…
Waferherstellung
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